Конец монополии ASML? Китай нашел способ массово «штамповать» наночипы вообще без литографических машин

Китайский стартап Prinano заявил о важном достижении в области производства фотонных микросхем. Компания сообщила, что успешно отработала выпуск оптических чипов на 8-дюймовых кремниевых пластинах без использования традиционного литографического оборудования, которое сегодня считается основой мировой полупроводниковой индустрии.
Изображение: Prinano
Разработка была реализована совместно с компанией Shenzhen Litra Technology. Главная особенность проекта заключается в полном отказе от DUV-литографии — технологии глубокого ультрафиолета, для которой обычно требуется дорогостоящее оборудование. Именно такие системы выпускает нидерландская компания ASML, поставки которой в Китай в последние годы серьёзно ограничены экспортными санкциями.
Вместо классической литографии Prinano использовала собственную технологию вакуумного наноимпринтинга. Если традиционный процесс предполагает проецирование схем на кремниевую пластину при помощи сложной оптики и мощных источников света, то новый метод работает по другому принципу. Наноразмерные структуры буквально «отпечатываются» на поверхности пластины специальным шаблоном, подобно тому, как типографский штамп переносит изображение на бумагу.
По утверждению компании, такой подход способен сократить производственные затраты примерно в десять раз по сравнению с традиционными DUV-процессами. При этом технология уже позволяет работать не с отдельными экспериментальными образцами, а с полноценными кремниевыми пластинами промышленного формата.
Важно отметить, что речь идёт не о производстве передовых процессоров для смартфонов или ускорителей искусственного интеллекта. Технология Prinano ориентирована на фотонные чипы — специализированные микросхемы, которые работают не с электрическими сигналами, а со светом.
Такие компоненты используются в оптоволоконной связи, дата-центрах, лазерных сенсорах, лидарах и других системах, где требуется передача больших объёмов данных с высокой скоростью. В отличие от современных вычислительных процессоров, фотонные схемы часто состоят из повторяющихся наноструктур, что делает их особенно удобными для производства методом наноимпринтинга.
Использование 8-дюймовых пластин также говорит о том, что проект выходит за рамки лабораторных экспериментов. При этом говорить о полноценном коммерческом успехе пока рано. Несмотря на заявления о готовности технологии к массовому производству, Prinano не раскрыла объёмы выпуска, показатели выхода годной продукции, уровень дефектов и информацию о первых заказчиках.

