Ученые Новосибирского государственного технического университета разработали конструкцию и технологию производства приборов вакуумной микроэлектроники, предназначенных для работы в экстремальных условиях. В отличие от обычных полупроводников, в таких устройствах электроны перемещаются через миниатюрный вакуумный канал. Технология создается в рамках программы «Приоритет-2030» и может применяться в радиоэлектронной аппаратуре космической и оборонной техники.Источник изображения: Изображение сгенерировано в GrokОсновное преимущество вакуумной микроэлектроники заключается в устойчивости к радиации, высоким температурам и резким перепадам температур. Разработанные компоненты отличаются низким пороговым напряжением и относительно простой конструкцией. НГТУ уже изготовил рабочий макет прибора с вертикальным вакуумным каналом. Такие транзисторы и диоды потенциально позволяют создавать мощные и быстрые устройства для высоких и сверхвысоких частот, включая системы радиосвязи и радиолокации.Параллельно специалисты университета работают над вакуумными компонентами с наноразмерными зазорами и наноантеннами, рассчитанными на терагерцовый диапазон. По данным НГТУ, разработанная технология изготовления является новой: для ее правовой защиты специалисты уже подали заявку в Роспатент. В перспективе такие приборы могут использоваться в аппаратуре, которой требуется стабильная работа при радиационном воздействии и других экстремальных нагрузках.