Группа компаний «Элемент» начала подготовку инфраструктуры для размещения первой в России промышленной установки алюминиевой металлизации методом вакуумного напыления. Для проекта потребуется строительство специализированной чистой комнаты и комплекса инженерных систем, соответствующих требованиям микроэлектронного производства.

Изображение: ГК «Элемент»

Проектирование выполняет компания «Системные решения», победившая в конкурсе НИИ молекулярной электроники (НИИМЭ). Стоимость контракта составила 21 млн рублей. Сам испытательный центр разместят в Зеленограде на площади около 350 м². Отдельно Минпромторг финансирует разработку самой установки — на 2026 год на неё предусмотрено около 2 млрд рублей.

Речь идёт о создании отечественного аналога оборудования Applied Materials и Evatec. Установка должна обеспечить выпуск микросхем по техпроцессам 180–90 нанометров на 200-миллиметровых пластинах без использования зарубежных систем. Она будет наносить слои алюминия, титана и нитрида титана, используемые при формировании проводящих дорожек и защитных покрытий.

Оборудование такого класса требует строго контролируемой среды. В проекте предусмотрены отдельные зоны: участок нанесения металлизации, измерительный блок и помещения для инженерных систем. Основная зона должна соответствовать классу чистоты ISO 6, вспомогательные — ISO 8.

В таких помещениях поддерживаются жёсткие параметры: фильтрация воздуха до частиц 0,3 микрона, температура около +22 ±2 °C, влажность порядка 50%, а вибрации — не выше 6 мкм/с. Также необходимы системы резервного электропитания, подача сверхчистых газов, охлаждение, контроль электромагнитных помех и постоянный мониторинг параметров среды.

Эксперты отмечают, что создание чистых помещений остаётся одной из наиболее сложных и дорогостоящих задач в российской микроэлектронике. По данным отраслевых источников, часть оборудования и компонентов для таких систем по-прежнему закупается за рубежом, в основном в Китае, после ограничения поставок из западных стран.

Проект чистой комнаты является частью разработки восьмимодульной установки вакуумного напыления с двумя роботизированными манипуляторами для работы с кремниевыми пластинами. Завершить создание оборудования планируется до конца сентября 2030 года.